国科学院电子学研究所夏善红博士来西安参加第九届全国敏感器件及传感器年会，借此机会我们特邀请夏博士指导我们的工作并参观实验室。
夏善红博士介绍
夏善红博士1983年毕业于清华大学无线电电子学系，获学士学位，校优良毕业生；1986年在中国科学院电子学研究所获硕士学位, 留所工作。1990年获得英国皇家学会Royal Fellowship，赴英国剑桥大学工程系电子工程专业访问进修，当选为剑桥Churchill学院Fellow Commoner；次年攻读博士, 1994年获博士学位。1995年初回中国科学院电子学研究所工作至今；1998年曾赴香港科技大学电机与电子工程系进行短期合作研究；2002年获得美国加州大学伯克利分校2002－2004年度Berkeley Scholarship，多次赴该校传感器与执行器中心开展合作研究工作。
目前担任中国科学院电子学研究所学术委员会及学位委员会委员、传感技术国家重点实验室主任，并担任国家863计划微机电系统(MEMS)重大专项总体专家组成员、中国电子学会理事、IEEE 电子器件学会北京分部副主席、中国电子学会真空电子学分会副主任委员、中国电子学会电子线路与系统分会委员、中国真空学会电子材料与器件专业委员会副主任委员、中国自动化学会机器人专业委员会委员等职。
作为项目负责人，承担并完成了国家自然科学基金、863等十余项研究课题。发表论文一百余篇，获得中国发明专利三项。1998年获得中国科学院电子学研究所优秀研究生导师奖。
目前主要从事微光机电系统(MEMS)技术、微传感器及其系统、新型真空微电子器件研究。研究兴趣包括：集成微传感器及其系统的设计与制作、微传感片上系统(SOC)设计与信号处理、MEMS加工技术、MEMS自组装技术、MEMS设计方法及仿真、新型MEMS器件及真空微电子器件等。
主要论文：
[1] S. H. Xia, J. Liu, D. F. Cui, J. H. Han, S. F. Chen, and L. Wang, “Investigation on a novel vacuum microelectronic pressure sensor with stepped field emission array”, J. Vac. Sci. Technol. B, Vol. 15, No. 4, Jul/Aug 1997, pp.1573-1576.
[2] Shanhong Xia, Jia Liu, Jie Su, and Shaofeng Chen,“A Multi-functional Microsensor System”, International Journal of Nonlinear Sciences and Numerical Simulation, Volume 1, 2000, pp.415-418.
[3] SU Jie, XIA Shanhong and CHEN Shaofeng,“A Vacuum Microelectronic Pressure Sensor Array Integrated with Temperature Sensor”, Chinese Journal of Electronics, Vol.10, No.3, July 2001, pp.332-335.
[4] Jian-Gang Zhang，Shan-Hong Xia，Shao-Feng Chen，“The fabrication of large area Si3N4 membrane mounted with NiCr/Ni thermocouples”，International Journal of Nonlinear Sciences and Numerical Simulation，Vol.3, Nos.3-4, 2002, pp.423-425,
[5] Song Qinglin, Cui Zheng, Xia Shanhong et al., “Measurement of SiNx Thin Film Thermal Property with Suspended Membrane Structure”, Sensors and Actuators A Physical, 2004,112(1): 122-126.
[6] 夏善红.台阶阵列阴极真空微电子压力传感器研究,功能材料与器件学报,1996,2(3):182-186
[7] 夏善红.真空微电子传感器研究及进展,机械强度,2001,23(4):535-538
[8] 宋青林,夏善红,陈绍凤等.微尺度薄膜热导率测试技术, 物理学进展,2002,22(3):283-294. [9] 陈绍凤,夏善红,宋青林等.微纳米薄膜的悬浮腐蚀法, 半导体学报, 2003,24(z1):104-106
[10] 裴强, 夏善红等.基于MEMS技术的微型电场传感器设计与仿真, 微纳电子技术, 2003,40(7):388-390
[11] 吕曜,宋青林,夏善红.固体微/纳米尺度传热理论研究进展,物理学进展,2004,24(4):424-435
[12] 白强,夏善红,陈绍凤等.新型旋片式空中电场传感器及应用,电子与信息学报, 2004,26(4):651-654
